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半導體的氣體過濾器,也稱為半導體氣體過濾器或半導體AMC(Airborne Molecular Contamination,空氣分子汙染)過濾器,是一種專門應用於半導體製造行業的過濾器。它主要用於去除對半導體工廠產生負麵影響的各種化學汙染物,如有機物、堿、酸性氣體等。
半導體氣體過濾器的工作原理主要基於物理和化學吸附和分解過程,通過使用多種吸附劑和催化劑,選擇性地去除有害氣體。在產品類型上,半導體AMC過濾器可以分為化學吸附過濾器(如活性炭或氧化鋁)和粘合介質麵板(如活性炭形成單片麵板)等。
半導體氣體過濾器廣泛應用於半導體製造、光電子、平板顯示等領域,為這些行業提供高質量的氣體過濾解決方案。它的主要組成部分包括過濾器殼體和濾芯,主流外殼材料包括316L不鏽鋼、鎳、PTFE材料、哈氏合金等,而過濾介質則一般為聚丙烯、玻璃纖維、聚醚碸、PTFE、聚偏氟乙烯、尼龍、UPE等。
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